專利摘要顯示，本申請?zhí)峁┮环N石墨舟，包括多個(gè)石墨片、墊塊、舟腳和連接件，各個(gè)石墨片平行設(shè)置，連接件將各個(gè)石墨片相連，墊塊與連接件相連，用于間隔各個(gè)石墨片，舟腳與靠近石墨舟底部的墊塊相連，用于支撐石墨舟;舟腳和至少部分墊塊設(shè)有沿平行石墨片長度的方向貫穿的通風(fēng)孔。本申請?jiān)谥勰_和至少部分墊塊設(shè)置了通風(fēng)孔，工藝氣體可穿過通風(fēng)孔，從而提高舟腳和墊塊附件的工藝氣體濃度，提高了工藝氣體分布的均勻性，進(jìn)而提高了晶片表面鍍膜的均勻性。
?
Copyright (c) 2025 www.bai5t2.cn Inc. All Rights Reserved. 天津奧沃冶金技術(shù)咨詢有限公司 版權(quán)所有 津ICP備11000233號-2
津公網(wǎng)安備12010202000247
電話：022-24410619 傳真：022-24410619
E-mail:1208802042@qq.com
