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清華大學(xué)研發(fā)高靈敏度可定制石墨烯壓力傳感器

作者:1180發(fā)布時間:2020-08-25

        7月15日,清華大學(xué)微電子所任天令教授團(tuán)隊(duì)在納米領(lǐng)域重要期刊《美國化學(xué)學(xué)會納米》(ACS Nano)上發(fā)表了題為“正電阻特性的類三極管石墨烯壓力傳感器”的研究論文。該器件實(shí)現(xiàn)了可定制的石墨烯壓力傳感器,具有極高的靈敏度和較大的量程,可以直接貼覆在皮膚上用于探測呼吸、脈搏等多重功能,并實(shí)現(xiàn)了人體多部位血壓值和波形采集、足底壓力和步態(tài)監(jiān)測,未來在運(yùn)動監(jiān)測、智慧醫(yī)療等方面具有重大應(yīng)用前景。

        壓力傳感器是一種重要的信號采集器件,要求器件同時兼顧較高的靈敏度和較大的量程,同時為了用于人體信號采集,還應(yīng)具備良好的柔性、貼合度和耐用性。傳統(tǒng)的壓力傳感器在受到外界壓力時,電阻值減小,呈現(xiàn)一種負(fù)電阻變化,這使得量程和靈敏度呈負(fù)相關(guān)關(guān)系相互制約,從而使得性能難以提高。

        任天令團(tuán)隊(duì)基于激光還原石墨烯,將石墨烯與硅橡膠柔性基底相結(jié)合,制備了類三極管結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器,在整個量程區(qū)間內(nèi),傳感器的靈敏度也隨著壓力增大而提高呈現(xiàn)指數(shù)變化趨勢。將壓力傳感器受力端看做基極,模仿調(diào)節(jié)晶體管靜態(tài)工作點(diǎn)的方式,通過調(diào)節(jié)力學(xué)靜態(tài)偏置實(shí)現(xiàn)微小力學(xué)信號測量與放大。由于傳感器核心采用了激光還原的多層石墨烯,在宏觀結(jié)構(gòu)上可被視為二維材料,器件總體呈現(xiàn)出正電阻變化的特性。同時還探究了圖案、掃描角度等多種方法來增強(qiáng)和定制器件。除了貼附在手腕監(jiān)測脈搏、貼附在胸口監(jiān)測呼吸信號外,還能夠在人體多處分別測量和還原血壓值和波形。傳感器的大量程還可以被運(yùn)用于足底壓力測量和步態(tài)監(jiān)測,并組建了一個實(shí)時步態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)。

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